目前国内的半导体设备,国产化率平均仅16%,可以细分为九个领域。
分别是:氧化/扩散炉(高温炉)、光刻设备、涂胶显影设备、蚀刻设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、化学机械抛光设备、检测设备、清洗设备。
氧化/扩散炉(高温炉)市场主要被外资品牌占据,如米国应用材料、东瀛日立、东京电子等企业。国内目前只有北方华创在这个领域发展。
光刻设备方面,之前全球光刻机市场主要由尼德兰的阿斯麦(ASML)、东瀛尼康和佳能三家把持。国内就是刚刚崛起的神光仪器,以及之前的微电子。
涂胶显影设备方面,全球涂胶显影设备龙头为东瀛的东京电子、迪恩士和德意志的苏斯微。国内有竞争力的公司为沈阳芯源微。
刻蚀设备方面,全球刻蚀设备行业前三名分别为拉姆研究、东京电子、应用材料。国内企业里面有中微公司、北方华创。
离子注入设备,全球离子注入机龙头为米国应用材料和Axcelis公司,两家合计占据全球近90%的市场份额。国内企业中,只有凯世通和中科信具备集成电路离子注入机的研发和生产能力。
薄膜沉积设备,目前全球市场高度垄断,应用材料、东京电子和拉姆研究占据了绝大部分的市场。国内企业有北方华创、沈阳拓荆。
化学机械抛光方面,CMP机台市场被应用材料和东瀛的Ebara高度垄断,两者市占率接近90%。国内市场上,华海清科和电科装备45所是主要的研发力量。
检测设备方面,目前集成电路质量测量设备全球主要的供应商是科磊半导体(KLATencor)、应用材料和东瀛日立。国产企业主要代表是上沪睿励科学和上沪精测。
另外检测设备,还有电学检测设备,目前电学检测设备市场集中度很高,其中测试机主要被爱德万和泰瑞达垄断,分选机被爱德万、科休半导体、爱普生等企业垄断,探针台被东京电子、东京精密和伊智所垄断。
国内龙头长川科技已经布局测试机和分选机市场,积极研发探针台。华峰测控主要产品为测试机,上沪中艺主要产品为分选机。
最后一个领域清洗设备,全球清洗设备龙头迪恩士、东京电子和拉姆研究,其中迪恩士一家占比超过50%,是绝对的龙头。国内企业中,盛美半导体是国产清洗设备的优秀代表。
从上面的九个细分领域之中,是不是有两个公司的名字密集出现。
那就是米国应用材料和东瀛东京电子,阿斯麦只能在光刻机上独占鳌头,但是应用材料有六个领域占据优势,东京电子同样是有六个优势领域。
而国内目前只神光仪器的光刻机达到世界顶级、中微公司的蚀刻机达到世界一
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